2024年9月19日09，37光刻机概念板块连续两个交易日涨幅居前，光刻机概念继续活跃，截至发稿，凯美特气、海立股份涨停，同飞股份、波长光电、高盟新材、张江高科等涨幅居前，消息面，工业和信息化部印发，首台，套，重大技术装备推广应用指导目录，2024年版，的通知目录中的集成电路生产装备板块列出了氟化氪光刻机和氟化氩光刻机，其中，氟化氩...。