`摘要，随着我国半导体产业的快速发展，光刻机作为半导体制造的核心设备，其技术水平尤为关键，近日，我国自主研发的光刻机取得重大进展，标志着我国半导体设备国产化迈出了重要一步，为实现芯片全产业链国产化奠定了基础，一、国产光刻机技术突破在工业和信息化部印发的，首台，套，重大技术装备推广应用指导目录，2024年版，中，集成电路生产装备板块中...。