摘要上海临港新片区于2021年3月3日发布集成电路产业专项规划，2021，2025，，提出推动集成电路装备产业规模化发展，重点支持12英寸高端刻蚀、清洗、离子注入、光刻、薄膜、湿法、热处理以及光学量测等设备的研发和产业化，集成电路专项规划根据CounterpointResearch的预测，全球领先的代工厂有望在2021年至2023年进...。