离子注入机，国产替代机遇下的半导体设备投资热潮摘要离子注入机是一种用于半导体制造的关键设备，通过将离子注入硅片材料中，改变其表面成分、结构和性能，随着半导体产业的蓬勃发展，离子注入机市场迎来投资热潮，国产替代机遇凸显，离子注入机的定义和应用离子注入是指将离子入射到硅片材料中，引起材料表面成分、结构和性能发生变化的掺杂过程，它是半导体生...。